1.適當降低工作液溫
在液環真空機組工作點為固定值的前提下，適當降低工作液溫度可達到防止氣蝕的效果。
2.正確選擇：使液環真空機組在安全區域運行，提高選擇的準確性。
在選擇階段，在選擇真空泵的吸入壓力和熱量時，應盡量避免真空泵容易發生蒸汽腐蝕的壓力范圍，即防止真空泵在臨界真空度或臨界排氣壓力范圍內運行，避免加重蒸汽腐蝕。
3.安裝汽蝕覆蓋管：安裝汽蝕保護管或止回閥
真空泵配有真空泵腐蝕保護管，壓縮過程中氣泡破裂。從內部引入高壓不凝氣體可及時補充氣泡破裂引起的空間，大大加重腐蝕對泵的危害，增加腐蝕引起的噪聲和振動。
4.配備大氣噴射器
大氣噴射器的作用是利用大氣壓力的壓差絕對是真空泵，產生大氣噴射，失去噴射器中比真空泵更低的吸力壓力，從而消除真空泵的極限壓力，防止真空泵的腐蝕，起到覆蓋真空泵的作用。由于大氣噴射器是為了防止真空泵的腐蝕和覆蓋真空泵而設置的，正常設置大氣噴射器的真空泵比未安裝的好。
5.使用較低的飽和蒸汽液作為工作液
工作液由原水改為變壓器油，由于油的飽和蒸汽壓力較低，極限真空度失去了較高的改善。在去除大量凈化氣體和一些特殊工作場所時，真空泵的工作液也可以使用其他液體（丙醇、乙醇、二甲苯、苯胺、鹽酸安非拉酮等低粘度有機溶劑），其極限真空度由工作液的飽和蒸汽壓力決定。
6.泵的葉輪和圓盤耐蒸蝕性強
不同材料的耐腐蝕性明顯不同。影響材料耐腐蝕性的成分很多，通常具有高硬度、高彈性的材料耐腐蝕性。此外，建議使用低碳鉻鎳合金鋼，如13Cr4N水力機械材料作為一種水力機械材料，具有良好的耐腐蝕性。使用環氧樹脂、尼龍粉、聚氨酯和其他非金屬涂料對葉輪涂層的步驟相對罕見。不銹鋼焊絲堆焊法、不銹鋼板鑲嵌焊修復法、合金粉末噴焊等在流道中堆焊合金或噴涂合金，防止腐蝕損壞。
